威卡WUD-2x系列高純傳感器將先進的傳感器理念與模擬輸出信號相結合， 能夠為當前市場需求提供安全、準確的壓力測量。基于真空基準的壓力測量，以及干擾屏蔽和信號噪聲消除的電子措施，確保了高準確度的壓力測量和長期穩定性。主動溫度補償功能減少了溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度波動較大的應用中（如氣體膨脹情況下的焦耳-湯姆遜效應）或無空氣調節區域也能安全運行。WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設計，可承受安裝帶來的扭曲應力。薄膜傳感器的特殊設計消除了由于過程連接或焊接接頭處的負載而導致的傳感器故障的風險。WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統中。明亮的LED顯示屏可旋轉，因此可從任意位置輕松查看讀數。配備2個可編程開關輸出，可針對具體應用進行監測及控制。WUD-2x為緊湊型UHP傳感器， 夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現有裝置進行改裝。

威卡 半導體設備超高純氣體UHP壓力傳感器WUD-20

應用

半導體、平板顯示器和太陽能光伏產品

半導體生產系統中的超高純氣體供應

功能特性

高準確度壓力測量0.15 % RSS

出色的長期穩定性

信號降噪和屏蔽

真空基準壓力測量

主動溫度補償

威卡 半導體設備超高純氣體UHP壓力傳感器WUD-20